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宋会英 教授

文章作者:  来源:   发布时间:2018-05-31  浏览次数:

宋会英,女,1968年12月生,山东省利津县人,教授,博士。

1989年毕业于华东师范大学电子科学技术专业,获学士学位;2002年毕业于西安交通大学电子与信息工程专业,获工程硕士学位;2006年毕业于山东大学控制理论与工程专业,获博士学位。1989年7月任教于胜利油田职工大学,2006年7月任教于中国石油大学(华东)计算机与通信工程学院,2015年1月任教于中国石油大学胜利学院。

主讲数据结构、计算机组成原理、软件需求工程、信息技术基础等课程。作为课程负责人建成了《数据结构》中国石油大学(华东)校级精品课程、中国石油大学胜利学院校级重点课程。在研山东省教学改革研究项目“基于学习行为大数据的翻转课堂教学模式研究”。

主要从事虚拟现实技术、电子束光刻理论、方法和仿真技术研究。在电子束光刻仿真技术研究方向,深入研究了电子束光刻过程中电子在抗蚀剂中的散射过程,借助Monte Carlo方法,模拟了低能电子束、中能电子束、高能电子束在不同抗蚀剂中的散射过程,模拟结果不仅能为电子束光刻工艺优化曝光条件、降低邻近效应提供理论指导,而且能为进一步的邻近效应校正提供更精确的数据。主持并完成了山东省自然科学基金资助项目“电子束光刻三维仿真技术研究”。以第一作者发表学术论文10余篇,其中SCI和EI收录5篇。

近几年以第一作者发表的主要论文:

1. 电子束光刻三维仿真研究[J]. 电子学报,2010.3(38) EI检索

2. 电子束光刻中的内部邻近效应校正技术研究[J].微纳电子,2009.5(46)

3. 高能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟[J].高能物理与核物理,2005.12(29) EI,SCI检索

4. 电子束光刻的快速邻近效应校正[J].微细加工技术,2007NO.6 EI检索

5. 电子束曝光中电子散射模型的优化[J] 微细加工技术 2005NO.9 EI检索

6. 低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟[J] 微细加工技术 2004NO.12 EI检索

 

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